“微米划片师”

人物名片：

刘宏文，沈阳和研科技股份有限公司机械工程师，沈阳五一劳动奖章获得者

与微观世界打交道，在头发丝上开槽“画画”，刘宏文所从事的职业，每天都在跟精度较劲，0.002毫米是他所能容忍的最大定位偏差。

刘宏文是沈阳和研科技股份有限公司（以下简称“和研科技”）的一名机械工程师，提高划片机的精度是他的主要工作之一。作为半导体产业链的重要一环，划片机的高端机型曾长期被国外垄断，其中最重要的一点，就是国产与进口在精准度上存在0.003毫米的差距。这么微小的差距肉眼是看不出来的，但在芯片制造领域，失之毫厘，便会差之千里，“所以我们每天都在与精度较劲，让误差降至最低。”刘宏文口中的误差，是以微米为单位的，将上百个芯片精准从晶圆上剥离，定位误差需控制在2微米以内。2微米是多少？刘宏文举了个形象的例子：“1 根头发的粗细是70微米。”

“早年国产的划片机发展不起来，除技术问题外，还有一个原因就是没有客户愿意给我们试错的机会。”刘宏文说，一张晶圆上拥有几十个甚至上百个芯片，而芯片的价格从几十元到上百万元不等，客户出于各种考虑，更倾向于购买外国的划片机。直至2018年，和研科技成功研制出第一台12英寸半自动双轴划片机，这一困境才有所变化。

提高划片机的切割精度是一个较为前沿的领域。作为机械工程师的刘宏文不仅要画图纸，研究出工艺工序，还要经常去实验室试错，和工人在一起装配机器。为的就是能在千万个步骤中找到突破口，使定位偏差再下降几微米。

2020年，刘宏文提出了一个大胆设想：对划片机的喷水罩进行提升改进。这样不仅能提高综合精度，延长刀片寿命，降低刀片工作时的热度，还能减少芯片的崩边率，一举多得。很快，这一想法得到了公司领导的支持，公司为该项目建了研发团队，拿出大量的晶圆、芯片不惜成本地让他试错。

就这样，刘宏文带领团队进行了两年多的“喷水罩研究”重点攻关，由他主导研发的气缸喷水罩有了重大突破，划片机切割品质得到大幅提高。该项目所涉及的DS9系列划片机入选辽宁省首台（套）重大技术装备推广应用指导目录，实现了对进口设备的国产化替代。那段时间，他和团队几乎天天泡在实验室里，做了几千次的实验，每做完一次实验，都会兴奋地跑到电子显微镜前去验证。“只要能继续尝试，就还有成功的可能。”于刘宏文而言，失败早已是家常便饭，但只要还有机会，一切就有可能。